3.1.1线分辨率:0.10 nm 3.2加速电压 3.2.1加速电压: 20 kV - 200 kV高压，连续可调 3.2.2加速电压全程范围内切换和电镜模式仅需通过软件控制快速完成 3.2.3加速电压稳定性:≤1.0 ppm/10 min 3.3电子枪 3.3.1电子枪类型:高稳定度的肖特基场发射电子枪 3.3.2高亮电子枪，总电子束束流: ≥150 nA 3.3.3束斑漂移: <0.5 nm/min 3.会聚柬电子衍射(CBEO) 3.1最大衍射角:≥士12° (半角) ; 3.2最大会聚角:≥100毫弧度(mrad)

观察样品微观结构。结晶结构