➢ 反应室：290*290*380mm ➢ 放电类型：辉光放电 ➢ 气体入口：双通道转子流量计2个 ➢ 工作压力：10~100Pa ➢ RF射频电源：plasmaflecto 30型，1KHz，0-600W自动匹配控制 ➢ 工作温度：12-40℃

材料的表面改性处理、清洗和活化（适用于膜材料、板材、粒料、粉体、液体等材料）