高分辨扫描器：XY方向扫描范围≥90μm，Z方向扫描范围≥10μm；XY方向闭环噪音水平RMS≤0.15nm，开环噪音水平RMS≤ 0.1nm 。Z方向闭环噪音水平≤35pm，开环噪音水平RMS≤30pm 。可持续稳定得到原子级分辨率(以对云母，石墨原子像成像表征) 。

接触模式、轻敲模式、峰值力轻敲模式、智能成像模式、相位成像模式、横向力/摩擦力显微镜、抬起模式、扭转共振模式、高次谐波共振模式、静电力显微镜、磁力显微镜、压电力显微镜、表面电势显微镜/开尔文探针显微镜、纳米动态力学模式、力曲线/力谱测量模式、力矩阵模式。