场发射扫描电子显微镜
联系人
徐家壮
生产厂家
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型号
电话
购买日期
2021/07/23
主要规格和技术参数
放大倍率范围：35~1000000；加速电压：200~30000V
主要功能及特色
2.1 模式二次电子分辨率：
2.1.1. 高真空模式15KV 电压二次电子分辨率：小于等于1.0nm@15KV（SE）
2.1.2. 高真空模式1KV电压二次电子分辨率：小于等于1.4nm@1KV（SE，非减速模式）
2.2 低真空模式二次电子分辨率：
2.2.1. 低真空模式10KV电压二次电子分辨率：小于等于1.5nm@10KV
2.2.2. 低真空模式3KV电压二次电子分辨率：小于等于1.8nm@3KV
2.3 要求100V低电压下，背散射电子像分辨率：小于等于3.5nm@100V（配备高灵敏度、低电压取向背散射探测器）
主要附件及配置