1 组成：主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，冷却循环水系统，能谱仪，计算机，标准工具及附件。 2 电子枪：场发射电子枪 3 分辨率 3.1 分辨率：≤0.6nm (加速电压15kV，工作距离不小于2mm)； 3.2 分辨率：≤0.7nm (加速电压1kV，工作距离不小于1.5mm)； 4 加速电压：0.02~ 30kV *5 可同时显示以显示器为准和以底片为准的两种模式的放大倍率，20-200万倍连续可调 *6 物镜光阑： 4 孔可调式，内置加热自清洁装置 7 样品台驱动： 5轴优中心马达自动驱动 *8 通过预抽室交换样品，可放置直径150mm样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程 9 具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落 * 10 具有Top、Upper和Lower三个二次电子探测器，高位探头安装在物镜上方，应用ExB专利技术，可选择接受SE、BSE图像 11 扫描模式： TV：两级扫描速度（Rapid1～Rapid2） 快扫：两级扫描速度（Fast1～Fast2） 慢扫：七级扫描速度（Slow1～Slow7） CS扫描：七级扫描速度（CSS1～CSS7） 12 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480 像素 13 捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名 14 电子图像移动：±12μm (WD=8mm) 15 真空系统： 真空度：10-7Pa (电子枪)；10-4Pa (样品室) 真空泵：分子泵（磁悬浮型）300L/S×1； 机械泵 135L/Min×1； 离子泵 60L/S×1,20L/S×2 台； 保护：断电、漏电、真空保护 16 带有冷阱用于减小样品污染 17 能谱仪技术要求 17.1 制冷方式：电制冷 17.2 能量分辨率（MnKa 处）：探头优于 129eV 17.3 检测元素范围：Be4-Am95 17.4 有效晶体活区面积：≥60mm2 17.5 能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，单探测器输出最大计数率优于600,000CPS，可处理最大计数率优于1,500,000CPS *17.6 谱定性分析：配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K, L, M 和 N线系)。可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围，可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离 *17.7 定量分析：包含P/B-ZAF和 XPP (θρz)定量算法，可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；具备有标样定量分析及无标样定量分析方法；可以得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果管集成在电镜上，能够实现全整合的 EDS 和 XRF 分析，并且能够整合 EDS 分析和 XRF 分析为一个定量分析程序 *17.8 可将电镜图象传输到能谱仪的显示器上，支持最大像素4096*4096，并以该图为中心做微区分析，可选择点、矩形、任意不规则区域进行分析。 17.9 在做面扫描时候具有可自动漂移矫正功能

用于样品的微纳米的形貌、结构研究及样品元素的分布及分析。