➢ 反应室：直径200mm，长度200mm ➢ 放电类型：辉光放电 ➢ 气体入口：双通道转子流量计2个 ➢ 工作压力：10~100Pa ➢ RF射频电源：PSG-Ⅱ型，13.56MHz，0-200W自动匹配控制 ➢ 全部不锈钢管路 ➢ 真空系统

材料的表面改性处理（不能用于粉末、短纤类材料）