光谱分辨率：≤0.65cm-1 灵敏度：硅三阶峰的信噪比好于20:1 光谱重复性：优于±0.05cm-1 光栅：采用大尺寸光栅≥68mm*68mm，600刻线、1800刻线 XY机械平移：X≥75mm；Y≥50mm。Z自动。

对材料物质结构进行分析，主要包括材料组成成分及分布，分子结构，相组分，结晶结构等形貌特征进行分析。

热台,532,633,785nm激发光波长